超细密加工经过数十年的努力，日趋成熟，不论是超细密机床、金刚石工具，照旧超细密加工工艺已形成了一整套完备的超细密制造技术体系，为推动机械制造向更高条理发展奠定了基础，如今正在向纳米级精度或毫微米精度迈进，其前景十分令人鼓舞。但是从另一个角度来分析，随着科技的发展，对它的要求越来越高，而实际的情况又受到技术水平的制约，依然存在很多困难。　　1　综述　　超细密加工技术是一门综合性的体系工程，它的发展综合地行使了机床、工具、计量、环境技术、微电子技术、计算机技术、数控技术等的提高。日本的津和秀夫教授形象地将超细密加工比作富士山的山顶，所以在某种意义上说，已到达了细密加工的巅峰。日本的文献上，经常出现向极限靠拢的提法。虽然从技术的角度来说，有些模糊，但是很形象化。现实上，加工精度在现有的水平上再进步一步已是相称困难。以如今的产品而言，凡是要求高的尺寸，大部分是超越现有标准的，这从另一个侧面反映了超细密的现实情况，相称多的要求，均以技术条件的情势来透露表现，或标明详细的特别公差，而今天除了精度以外，对外观还提出了新的要求——外观完备性。日本谷口纪男教授每每将超细密加工技术与微细加工综合在一路来加以介绍，客观上反映了两种技术的交叉，也表现了时代的特性。本文想就超细密加工发展的趋势，说明一些小我的看法。 　　超细密加工技术随着时间的推延，精度、难度、复杂性等都在向更高条理发展，使加工技术也随之必要赓续加以更新，来与之相适应。 　　以金刚石切削为例，其刃口圆弧半径一向在向更小的方向发展，由于它的大小直接影响到被加工外观的粗糙度，与光学镜面的反射率直接有关，而今反射率要求越来越高，如激光陀螺反射镜的反射率已提出了99.99%，必然要求金刚石刀具更加锋利，根据日本大阪大学岛田尚一博士介绍，为了进行切薄试验，目标是达到切屑的厚度1nm，其刃口圆弧半径趋近2～4nm。直至今日，这个水平仍为世界最高的。为了达到这个高度，促使金刚石研磨机也改变了传统的结构，而采用了空气轴承作为支承，研磨盘的端面跳动能在机床上自行修正，使其端面跳动控制在0.5µm以下，我国航空体系303所研制的刃磨机就是一例。刃口锋利了，接着其检测又成为一个难题，起先日本横滨大学的中山一雄教授用金丝压痕的方法；后来发展到采用扫描电子显微镜(SEM)，其测量精度可达到50nm；随着精度的再进步，日本的刀尖评价委员会又在SEM上增长了二次电子的发射装配，这时也只能测定到20～40nm；1993年，该小组再提出采用扫描隧道显微镜(STM)或原子力显微镜(AFM)来进行检测，但以后就未见报道。直到1996年，我国的华中理工大学发表了用AFM检测的报道。1998年，哈工大又再次作了报道。用AFM成功地检测了刃口圆弧半径。检测技术的突破，的进为微量切削机理一步探索创造了前提。